更新時(shí)間：2026-01-11
高壓氣體粒子計(jì)數(shù)器高技術(shù)生產(chǎn)工藝通常要求高純度氣體。HPGP-101-C高壓氣體探頭為在線壓力下的工藝氣體提供可靠的在線污染監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭和氧氣、氫氣以及大多數(shù)無害氣體相匹配，它可以應(yīng)用于多種活性氣體監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭會在影響產(chǎn)量之前，加快工藝氣體分配系統(tǒng)的資格確認(rèn)，監(jiān)測氣體中的粒子。
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高壓氣體粒子計(jì)數(shù)器
靈敏度范圍：0.1 - 5.0 µm
高技術(shù)生產(chǎn)工藝通常要求高純度氣體。HPGP-101-C高壓氣體探頭為在線壓力下的工藝氣體提供可靠的在線污染監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭和氧氣、氫氣以及大多數(shù)無害氣體相匹配，它可以應(yīng)用于多種活性氣體監(jiān)測。HPGP-101-C高壓氣體探頭會在影響產(chǎn)量之前，加快工藝氣體分配系統(tǒng)的資格確認(rèn)，監(jiān)測氣體中的粒子。
高壓氣體粒子計(jì)數(shù)器HPGP與粒子數(shù)據(jù)系統(tǒng)、以太網(wǎng)(PDS-E)配對，收集并報(bào)告由探測器捕獲的數(shù)據(jù)。
安全保護(hù)殼
氧氣與氫氣兼容性
0.1SCFM下，靈敏度為0.1μm
8個(gè)粒子通道
管道壓力從40到150psig
被動式激光源
并行處理陣列檢測器系統(tǒng)
核實(shí)粒子質(zhì)量
檢測工藝異常
量化系統(tǒng)更改的影響
提供精確粒徑
使用 Facility Net軟件來進(jìn)行全面的數(shù)據(jù)存儲、管理、報(bào)告和警報(bào)
被動式激光源設(shè)計(jì)只需極少的維護(hù)
凈化的惰性氣體確保安全
樣本氣體一旦泄漏，容器立刻終止電源
氣體分布系統(tǒng)的資格確認(rèn)
工藝氣體監(jiān)測
活性氣體監(jiān)測
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